Реактивное магнетронное напыление – это отработанный метод нанесения тонкого слоя соединения на широкий спектр подложек в качестве верхнего или промежуточного слоя в многослойном покрытии. Объем «тонких» колеблется от нескольких нанометров до нескольких микрометров.
Почему магнетрон брызгает?
Магнетронное распыление - это процесс столкновения между падающими частицами и мишенями … Магнетронное распыление увеличивает плотность плазмы за счет создания магнитного поля на поверхности катода мишени и использования ограничений магнитное поле на заряженных частицах для увеличения скорости распыления.
Что подразумевается под реактивным распылением?
Реактивное распыление – это процесс, который позволяет наносить соединения путем введения реактивного газа (обычно кислорода или азота) в плазму, которая обычно формируется инертным газом, таким как аргон (чаще всего), ксенон или криптон.
Как работает магнетронное распыление?
Магнетронное распыление представляет собой технологию осаждения с использованием газовой плазмы, которая генерируется и ограничивается пространством, содержащим материал для осаждения – «мишень». … Эти столкновения вызывают электростатическое отталкивание, которое «выбивает» электроны из распыляющихся атомов газа, вызывая ионизацию.
Почему РЧ брызгает?
РЧ или радиочастотное распыление - это техника, связанная с изменением электрического потенциала тока в вакуумной среде на радиочастотах, чтобы избежать накопления заряда на определенных типах материалов-мишеней для распыления, что со временем может привести к возникновению дуги в плазме, извергающей капли …